)2N/1N)1021m1020c/s101910181017101610150( oitar noitartnecnoCmota( noitartnecnoC31N2N1N1/N20.30.1Depth from surface (m)0.20.41021010-1４．まとめ謝辞参考文献図７■■イオン（■■■℃注入）の試料深さ方向分布ダイヤモンド単結晶表面にフェムト秒レーザを照射し，改質部を導入した後，■■■℃で加熱しながらイオン注入すると，■型化イオン（■■）および■型化イオン（■■，■■）いずれにおいても，ダイヤモンドの結晶性を保ちながら，レーザ改質導入によるイオン取り込み促進効果が確かめられた．ただし，この促進効果は，イオンの質量によって異なり，軽いイオン（■■，■■）でより顕著である．基礎研究にも目を向けて下さる天田財団に心から感謝しております．支援していただいたお金を活用してイオン注入と■■■■測定を滞りなく行うことができました．■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■ ■■■■ ■■ ■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■ ■■■■ ■■− 303 −
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