オフセット効果□□□□□□□を使用して、これを微細加工領域と高速加工領域に分割した。表面オフセット距離が微細構造の直径よりも大きい場合、表面オフセット□プロセスによって構造が消える。元のデータとオフセット後のデータを比較すると、図１□□□に示すように、微細構造のデータ領域を取得できる。スキャン□パラメータ自体は手動で選択されるが、選択すると、スキャン□パスの寸法が自動的に計算され、データがエクスポートされて、レーザーが適切な距離で各領域をスキャンできるようになった。□□□□□実験セットアップ□□我々の開発したステレオリソグラフィーシステムでは、調整されたインターフェース高さシステムを利用している。対物レンズを感光性樹脂に直接浸す□□□□□□システムと比較して、調整されたインターフェース高さシステムはより大きな構造を製造できる。自由表面法も大きな構造を製造できるが、表面の高さが安定していないため□□□には適用できない。調整されたインターフェース高さシステムは、製造基板シリコンウェーハ、感光性樹脂、樹脂の高さを制御するカバーガラス、浸漬油、対物レンズの順序で組み立てられた（図１（□））。シリコンウェーハは、基板上の固化した樹脂の接着を促進するために□□□□□□□□□（□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□）でコーティングされた。カバーガラスは、固化した樹脂の剥離力を減らすために□□□□□□□□□（□□□）でコーティングされた。モーションステージは、長いストロークと精度を実現するために、精密ピエゾステージと長距離リニアモーターステージと組み合わされている。それらの絶対位置は外部干渉計によって測定され、レーザーは位置情報によって切り替えられる。それらの軸も、独自のソフトウェアで調整される。□□□□□レーザーと光学系□□近赤外□□□□□□□□□□□□□□および□□□□フェムト秒クラスのレーザー□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□が、我々の□□□□□□システムの□□□□□用超短パルスレーザーとして使用された。概略図を図１□□□に示した。□□□□は、従来の□□□□□と比較して、樹脂をより高い精度で重合できる□図１□□□□。レーザーは□□□□□□□□□□□□□□で変調された。ビーム径は、ビーム□エクスパンダー□□□□□□□□□□□□□□□□□を使用して対物レンズに合わせて最適化された。□□□□反射および可視光透過ダイクロイック□ミラー□□□□□□□□□□□□□□が対物レンズの前に配置され、可視光をカメラに誘導して焦点を合わせた。□□□□倍□□□□□□□□レンズ□□□□□□□□□□□□□□は、□□□値が高く、高解像度が得られるため、対物レンズとして選択した。□□□□□樹脂□□感光性樹脂（□□□□□□□□、□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□）は、生体適合性□□□□□□とソフトリソグラフィーによる□□□□スキャフォールド製造用鋳型としての適合性から、□□細胞培養スキャフォールドの微細加工に使用された。樹脂はシリコンウェーハ上で所望の構造に硬化され、□□□□□□□（□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□）でリンスされた後、□□光下で□分間後硬化された。□□．結果□□□□□レーザー固化分解能□□レーザー光造形法では、レーザーでスキャンごとに固化領域をある程度重ね合わせることで一体構造が得られる。通常は硬化範囲を□□％程度重ね合わせて造形するが、スキャン間隔の絶対値を知るためには、□□□□を実現するためのレーザーの固化幅を知る必要がある。まず、最小固化幅が最高分解能となるように、近傍焦点へのレーザー出力分布をシミュレーションした。レーザー強度分布は、理想的な□□□□□モードを想定し、直径は双曲面であると仮定して計算した。図２（□、□）に示す計算結果から、大対物レンズの開口数（□□□□）が正確な光造形には理想的であり、□□□□に合わせてレーザー直径を調整すればよいことがわかった。次の実験では、図２（□）のような帯状の柱に直角に交差する線を図２（□）のように造形し、実用的な加工分解能を計測した。図２□□□に示すように、本研究で構築したシステムでは、□□□の解像度の限界と言われる領域に近い□□□□□の解像度を確認した。スポットに照射するレーザーエネルギーの総量が減少するにつれて凝固幅は減少し、これはレーザー走査速度とレーザー出力の逆数に比例した（図２□□□）。また、あるエネルギー閾値以下では硬化が起こらないため、最小凝固幅が制限されることも確認された。この結果、適切な走査間隔を設定することで、硬化物が飛散することなく一体化したモデルを得ることができた。□□図２□製造解像度□□□、□□□計算された正規化されたレーザー出力分布。□□軸は光軸、□□軸は水平半径軸です。□□□□計算されたレーザー直径と対物レンズ□□□□□□の関係。□□□□解像度測定実験用のオブジェクトの□□□□□設計。□□□□さまざまな線幅で製造されたオブジェクト。□□□□製造された最小および最大解像度の線オブジェクト。□□□□スキャン速度、レーザー出力、および固化幅の関係。□− 281 −
元のページ ../index.html#283