図４■ポストアニール成膜のラマンスペクトル ポストアニールでの成膜のスクラッチ痕とスタイラス信号、付加荷重の掃引時間依存性を示す結果を図５に示す。同じ600℃のポストアニールを行った成膜でも成膜時の温度の影響で最大剥離荷重に大きな差があることが分か図３■アパタイト成膜の密着力のアニール 温度依存性 った。図６に図５A、Bのポストアニール成膜の最大臨界剥離荷重および比較のための600℃でその場成膜での最大臨界剥離荷重の結果を示す。ポストアニールのエラーバーは同じ試料で測定した結果の標準偏差であり、600℃の図５■ポストアニール成膜の臨界剥離強度 図６■アニール方法の違いによる密着力の比較 − 237 −
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