■■■■■本研究の一部は，公益財団法人天田財団からの研究助成のもと実施された．ここに謝意を表する．また，本研究うため，正確な接合強度の評価は不可能であったが，少なくとも■■■■■以上の接合強度はある． ■４．結低環境負荷な水素ガスを主体に用い，中圧域高密度プラズマ曝露により形成されるナノ構造の形成挙動を明らかにするとともに，得られた金属ナノ構造を樹脂金属接合および金属間の低温接合に適用することを試みた．その結果，樹脂■金属接合では，プラズマ処理により得られるナノ構造に起因したアンカー効果により，接合強度の向上が確認された．また，水素プラズマ処理した■■および■■試料では， ■■℃以下の低温で接合できることが分かった．今後は，ナノ構造創成挙動をより詳細に調査するとともに，金属間接合についてはより一層の低温化を，樹脂接合については■■使用量の低減を目指し改良を行う必要がある． の遂行に当たり，大阪大学大学院工学研究科の関戸拓郎氏，中村航己氏，ならびに安田怜央氏に，ご助力いただきました．ここに深謝の意を表します．■■） 関戸拓郎，中村航己，垣内弘章，大参宏昌，“低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成”， ■ 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集，（ ■ ）■■■■■「ベストプレゼンテーション賞」受賞■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■ ■ ■■■■■■■ ） ■■■■■■■■■■■■■■■■■■ “■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■”■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■ff ■■■■■ ■■■ ■■■■■） ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■“■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■”■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■■■■■■■■■ ■■■） ■■■■■■■■■■■■■■■■■“■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■”■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■ ■■■■■ ■■■■■■） ■■■■■■■■■■■■，“■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■”，■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■■■■■■■■■■■■） 大阪大学■ 大参宏昌，接合部材の製造方法および接合装置，■■■■■■■■ ■ ■■■■■■ ■■■言■謝■辞■参考文献 図１４■■■２プラズマ処理後，各圧接条件で固相接合を試みた■■および■■試料の観察像．■表Ｉ．金属間接合の成否表６）■接合が確認されなかった．ここで，プラズマを生成しながら接触させる接合法■では，試料接触時に視覚では感知できない異常放電により，部分溶接が生じている恐れがあるが，プラズマ消滅後接合させた接合法■■においても接合が確認されたことから，水素プラズマ処理は金属の低温固相接合に有効であることがわかる．また，空気中で■■■℃程度に加熱される■■では，熱力学的に表面酸化膜が安定に存在し得ないため，空気中加熱を行う接合法■■でも接合が可能なことは理解しやすい．しかしながら，空気中加熱により安定な酸化膜が形成され，接合の形成を妨げやすい銅を用いても，両接合法で接合が出来た．金属中に溶解した水素が再放出される際，表面に形成される酸化物を還元し，清浄な金属表面が維持されていることが予想される．■なお，接合法■■で得られた接合■■試料の荷重変位曲線を図のグラフとして示すが，現有の引張試験機では，測定の途中で試料固定ジグと試料の間で滑りが発生してしま− 205 −
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