■２．開催場所 ■アメリカ合衆国■カリフォルニア州サンフランシスコThe Moscone Center ■３．国際会議報告 ■■■■会議概要■ キーワード：レーザー加工，微細加工 謝■辞■参考文献 基礎物理過程の議論の場であり，産業および学術分野の第一線で活躍する研究者が一堂に会した． ■■■ ■発表概要■筆者は，これまで高強度のフェムト秒レーザーを非金属表面に集光照射したときに過渡的に励起される表面プラズモン・ポラリトン（SPP）の物理過程について研究してきた．今回，SiO2を堆積したシリコン回折格子を用いることにより，SiO2の厚みでSPP波長を制御できること，高図■■展示会のようす．■１．開催日時 ■ ■ ■年■月 ■日（土）～■ 月 日（木）■Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacuring（略称LAMOM）は、レーザー精密加工に関する国際会議であり，SPIE が主催するPhotonics West のLASE 部門内で毎年開催される．今回で28回目を数える．開催場所は，ケーブルカーで有名なカリフォルニア州サンフランシスコ市街地にあるThe Moscone Center であった．Photonics West全体では，4,500 報を超えるプレゼンテーション，22,000 名を超える参加者があり，併設された展示会Photonics West Exhibitions（図1）では，1,400 社を超える企業からの展示があった．マスク着用者は体感で全体の1割ほどであったが，人の流れはコロナ禍前の状況にほぼ戻っているように感じた．筆者と同行した大学院生が発表したLAMOMは，光・電子デバイス製造のためのレーザー応用に関する最先端の成果や、それらに関する未知の東京農工大学■大学院工学研究院■（ ■ 年度■国際会議等参加助成■■■■ ■ ■■■■■） 准教授■宮地■悟代■密度電子を励起した後，10ピコ秒後にSPP励起用の近赤外パルスを照射するとSPP振幅を劇的に増大できること，深くアブレーションを誘起できることを初めて示した1)． ■同行した大学院生（東京農工大学 大学院工学府 物理システム工学専攻 修士2年，長井大輔，図2左）は，高強度のフェムト秒レーザーを固体表面に集光照射することによって形成されるナノ構造を，安定かつ均一に形成するための技術についてポスター発表した2)．本成果により，これまでレーザー照射中に判定が難しかったナノ構造形成（周期はおよそ200 nm）を，無反射特性を利用することによって光学的にリアルタイムで観測することができることを初めて示した． 本会議への参加費用の一部は，公益財団法人天田財団より助成を受けました．ここに深く感謝申し上げます． 1) Y. Iida, R. Muto, and G. Miyaji: Control on wavelength of surface plasmon polaritons on Si excited with an intense femtosecond laser pulse through SiO2 film, LAMOM XXVIII in SPIE. Photonics West, 12408-36 (2023), oral.■2) D. Nagai, H. Takada, A. Narazaki, and G. Miyaji: In-process monitoring of laser-induced periodic nanostructures on glass by using anti-reflective property, LAMOM XXVIII in SPIE. Photonics West, 12408-50 (2023), poster.■図 ■筆者ff右■と同行した大学院生ff左■．■− 463 −femtosecond ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
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