天田財団_助成研究成果報告書2023＿2

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■本研究を遂行するにあたり、公益財団法人天田財団から多大なご支援をいただきました。ここに感謝申し上げま ■■■平坦部の中心に形成された。 本研究を通して、高次高調波光源と高精度集光ミラーによるサブミクロン集光技術を組み合わせることにより、一部の金属材料や半導体材料に対して極端紫外フェムト秒レーザー加工が可能であることを実証した。極端紫外光の光子エネルギーは各種材料の仕事関数を上回るため、通常の近赤外レーザーを用いたフェムト秒レーザー加工とは異なる加工プロセスが進行することが推察される。 本研究を通して開発したレーザー加工プロセスは、集光素子の形状を工夫し集光ビームサイズを微小化することで、加工分解能をさらに向上させることが可能である。本研究で得られた知見を活かして光源システムから集光システムまでを最適化することにより、100 nmに迫る加工分解能も実現可能であると考えられる。また、SiCを対象とした加工試験結果から、表層のみの選択的な加工プロセスの可能性も示唆される。超高精度な新規レーザー加工プロセスになることが期待される。 す。■ ■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■–■■■■ff　■■■■■■謝■辞■参考文献 　■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■–■■■ff　■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■–■　■■ff■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ü■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■–■■■■ff■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■ff　■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■–■■ff　■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■　■–　■　■■ff　■　■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff　■　■■■■− 412 −