３．実験結果 3・1 Al2O3板端面へのMoメタライズ処理 ボール盤にてクロスバイスを動かしながら，Al2O3板端面に線状にMo膜を形成することに成功した(図5)．図6 図2 レーザ突合せ接合 表1 接合条件1-3（治具による板の固定無し） メタライズ条件 の有無 1 有 2 無 3 有 表2 接合条件4-6（治具による板の固定有り） 条件 4 5 6 図3 治具による板の固定の有無 インサート材 20 µm Mo 箔 (2枚) 20 µm Mo 箔 (2枚) 20 µm Ni 箔 (2枚) インサート材 20 µm Ni 箔 (2枚) 10 µm Ni 箔 (2枚) 10 µm Ni 箔 (1枚) 接合体の接合強度は，卓上型引張圧縮試験機（A&D製MCT-2150）を用いて評価した．接合体の片方の板には，アクリル樹脂系接着剤にて炭素繊維のフックを取り付けた．図4に示すように，接合体の片方の板をチャックで固定し，もう片方のフックを掛けて，室温，速度10 mm/minにて接合の面直方向に破断するまで引張り試験を行った．測定された最大荷重を接合された面積で規格化し，引張強度とした．接合界面の元素分析は走査電子顕微鏡－エネルギー分散型X線分析（日立ハイテク製TM3030Plus）にて，15 kVの加速電圧で実施した．接合破断面の結晶学的な性質については，X線回折装置（リガク製Smart Lab）を用いにて評価した．Cu Kα線を用い，40 kV, 150 mAの出力にて測定した． 出力 69 W 69 W 46 W に示すように，Mo膜表面に凹凸が観察されることなく，滑らかな膜が形成されている． 図5 Al2O3板端面へのMoメタライズ処理の様子 図4 接合体の引張強度試験 − 397 −
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