成果論文 成果に関する解説論文 国内外学会・研究会における成果発表 細構造形成", レーザー研究, Vol. 4477, No. 3, pp, 160-163 (2019). [2] M. Hashida, Y. Furukawa, S. Inoue, S. Sakabe, S. Masuno, M. Kusaba, H. Sakagami, M. Tsukamoto, “Uniform LIPSS on titanium two-color double-pulse beam of femtosecond laser", J. Laser Appl. (2020), Vol.32, 022054. [3] F. Nigo, M. Hashida, M. Tsukamoto, S. Sakabe, M. Kusaba:“Reflectance and crystallinity of silicon solar cells with LIPSS produced by XeCl excimer laser pulses”, Appl. Phys. A 126, pp.129-1-129-5(2020). [4] 細川誓, 橋田昌樹,長島健,井上峻介,阪部周二：”物質表面周期構造形成を目指した高強度テラヘルツ波光源開発”, 電気学会論文誌A 114400巻8号(2020) 378-383. [5]児子史崇,橋田昌樹,塚本雅裕,阪部周二,草場光博：”紫外フェムト秒レーザ照射されたシリコン太陽電池の表面粗さと結晶構造”, 電気学会論文誌A 114400巻8号pp.401-406 (2020). [6]Y. Tanaka, C. Hosokawa, M. Hashida, H. Zen, T. Nagashima, N. Ozaki, S. Inoue, S. Sakabe,”Mid-infrared free electron laser induced periodic surface structures on semiconductors” SPIE. Vol.11673, 116730U(2021). [7] K. Takenaka, N. Shinohara, M. Hashida, M. Kusaba, H. Sakagami, Y. Sato, S. Masuno, T. Nagashima, M. Tsukamoto: "Delay times for ablation rate suppression by femtosecond laser irradiation with a two-color double-pulse beam", Appl. Phys. Lett. 119(2021)231603. [8] 草場光博,橋田昌樹:“パルスレーザによるシリコン太陽電池表面の反射率低減”,第97回レーザ加工学会講演集2022（4page）. 取り組み”,スマートプロセス学会第10巻2号（2021）pp.53-57. (3) 橋田昌樹：”レーザ誘起微細構造形成解明を目指したその場計測”,レーザ加工学会第28巻2号（2021）pp.39-42. 指した高強度テラヘルツ波光源開発” 日本物理学会第74回年次大会, 2019年3月17日（九州大学) [a-6] C. Hosokawa, M. Hashida, T. Nagashima, S. Inoue, S. Sakabe:” Development of intense terahertz source aiming at highly time resolved measurement of terahertz induced periodic surface structure formation”, The 8th Advanced Lasers and Photon Sources, 2019年4月(パシフィコ横浜). [a-7] M. Hashida, M. Kusaba, F. Nigo, T. Nagashima, A. Irizaiwa, H. Sakagami, A. Gouda, Y. Furukawa , S. Inoue, S. Sakabe, “Formation of fine LIPSS on metals irradiated by double pulse beam of femtosecond laser”,FLAMN-2019, 3 July 2019, St Petersburg, Russia. [a-8] M. Hashida, “LIPPS formation and ablation thresholds of metals irradiated by femtosecond laser pulse”, Mini-Workshop on Nonlinear Response in Laser-Matter Interaction, 2019年7月8日, KPSI, QST, Japan. [a-9] 児子史崇, 橋田昌樹, 升野振一郎, 阪部周二, 塚本雅裕, 草場光博:“フェムト秒レーザー照射によるシリコンおよびシリコン太陽電池の表面形状変化と結晶構造”, 電気学会光応用・視覚研究会, LAV-19-22, 2019年8月30日（京都大学化学研究所碧水舎). [a-10]田中陽平，細川誓，橋田昌樹，全炳俊，長島健，井上峻介，阪部周二:“レーザー誘起周期構造形成のためのその場観察を目指した中赤外FELを用いた実験”，電気学会光応用・視覚研究会, 2019年8月30日（京都大学化学研究所碧水舎). [a-11]細川誓, 橋田昌樹,井上峻介,阪部周二:“高強度テラヘルツ波の発生と物質表面での周期構造形成に関する研究”，電気学会光応用・視覚研究会, 2019年8月30日（京都大学化学研究所碧水舎). [a-12]細川誓, 橋田昌樹,井上峻介,阪部周二:“テラヘルツ波誘起表面周期構造の高時間分解観測を目指した高強度テラヘルツ光源開発”,第47回応用物理学会秋季年次大会, 2019年 9月18-21日（北海道大学). [a-13] 橋田昌樹：”超短パルスレーザーを用いた表面の微細加工の基礎と応用”2019年度多元技術融合光プロセス− 97 −[1] 児子史崇,橋田昌樹,阪部周二,草場光博: “エキシマレーザー非熱的加工によるシリコン太陽電池表面ナノ微irradiated by (1) 橋田昌樹：”フェムト秒レーザー加工の加工率向上に関する研究“：光アライアンス1月号（2020）pp.28-31. (2) 橋田昌樹, 古川雄規，井上峻介：” フェムト秒レーザーアブレーションによる表層加工の学理解明に向けた[a-1] F. Nigo, M. Hashida, S. Sakabe, N. Shinohara, M. Tsukamoto, M. Kusaba, “Reflectance and Crystallinity of Silicon Solar Cells with LIPSS Produced by XeCl Excimer Laser”, The 15th International Conference on Laser Ablation, Mon PS-118, 9 November, 2019 (Maui-Hawaii, USA). [a-2] 児子史崇, 橋田昌樹, 阪部周二, 草場光博, “微細構造を形成したシリコン太陽電池の結晶構造評価”, 平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会, 4-P-17, 2018年9月4日（イーグレひめじ）. [a-3] 児子史崇, 橋田昌樹, 阪部周二, 草場光博, “非熱的レーザー加工されたSi太陽電池の結晶構造評価”, レーザー学会学術講演会第39回年次大会, 12pXIII6, 2019年1月12日（東海大学). [a-4] 細川誓,橋田昌樹,長島健,井上峻介,阪部周二:” テラヘルツ波を用いた長周期物質表面構造形成のダイナミックスの観察を目指して” レーザー学会学術講演会第39回年次大会, 2019年1月12日（東海大学). [a-5] 細川誓,橋田昌樹,長島健,井上峻介,阪部周二:” テラヘルツ波誘起表面周期構造形成の高時間分解観測を目
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