5） Yusufu Aishan, Yaxiaer Yalikun, Yo Tanaka: Pneumatically actuated thin glass microlens for on-chip observations, Actuators, 9(3), 73 (2020) 6） Yusufu Aishan, Yaxiaer Yalikun, Shun-ichi Funano, Yigang Shen, Yo Tanaka: Accurate rotation of ultra-thin glass chamber for single cell multidirectional observation, Applied Physics Express 13, 026502 (2020) 7） Yansheng Hao, Yo Tanaka, Yoichiroh Hosokawa, Ming Li, Yaxiaer Yalikun: A gas flow velocity sensor fabricated with femtosecond■laser using 4 µm ultra-thin glass sheet, Applied Physics Express, 15, 036502 (2022) 8） Yansheng Hao, Yo Tanaka, Yaxiaer Yalikun, Ming Li, Yoichiroh Hosokawa: Flow Velocity Dependency of Microfluidic Sensor of Ultra-thin Glass Sheet Fabricated by Femtosecond Laser Processing, The Japan Society of Applied Physics, 10a-Z16-9 ■■9） Dian Anggraini, Kazunori Okano, Yo Tanaka, Yaxiaer Yalikun, Yoichiroh Hosokawa: In Situ Guided Neurite Outgrowth by Femtosecond Laser Processing in a Microfluidic Device, 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 20510448 2） Yapeng Yuan, Yaxiaer Yalikun, Satoshi Amaya, Yusufu Aishan, Yigang Shen, Yo Tanaka: Fabrication sheet by weight-controlled load-assisted precise thermal stretching, Sensors and Actuators A: Physical, 321, 112604 (2021) 3） 田中陽, ヤリクン ヤシャイラ, 天谷諭, エン ヤーポン, ユスフ アイサン, シン キゴウ:“ガラスシートの製造方法、ガラスシート、デバイス、及びガラスシートの製造装置”, 2020年10月30日出願，特願2020-182007, 2021年9月22日PCT出願，PCT/JP2021/34876 4） Yusufu Aishan, Yaxiaer Yalikun, Satoshi Amaya, Yigang Shen, Yo Tanaka: Thin glass micro-dome structure based microlens fabricated by accurate thermal expansion of microcavities, Applied Physics Letters, 115, 263501 (2019) 1） Tao Tang, Yapeng Yuan, Yaxiaer Yalikun, Yoichiroh Hosokawa, Ming Li, Yo Tanaka: Glass based micro total analysis systems: Materials, fabrication methods, and applications, Sensors and Actuators B: Chemical, 339,129859 (2021) of ultra-thin glass 10） Tianlong Zhang, Yigang Shen, Ryota Kiya, Dian Anggraini, Tao Tang, Hanaka Uno, Kazunori Okano, Yo Tanaka, Yoichiroh Hosokawa, Ming Li, Yaxiaer Yalikun: Focusing of particles in a microchannel with laser engraved groove arrays, Biosensors, 11(8), 263 (2021) 11） Tianlong Zhang, Misuzu Namoto, Kazunori Okano, Eri Akita, Norihiro Teranishi, Tao Tang, Dian Anggraini, Yansheng Hao, Yo Tanaka, David Inglis, Yaxiaer Yalikun, Ming Li, Yoichiroh Hosokawa; Hydrodynamic particle focusing enhanced by femtosecond laser deep grooving at low reynolds numbers, Scientific Reports, 11, 1652 (2021) 12） Yapeng Yuan, Yaxiaer Yalikun, Yo Tanaka: Micro cantilever sheet glass thin-ultra and flexible using measurement deformation, ロボティクス・メカトロニクス講演会 2022 in Sapporo, J04-2P2 multi-magnification 謝■辞■参考文献■現可能になった、例えば、超薄板ガラスの任意場所にフェムト秒レーザーを集光して貫通穴を作成することで、基板上で神経回路を誘導する神経軸索制御・誘導デバイス■）を実現した。また、ガラス表面ナノスケール加工による血液やリンパ液を循環するがん細胞ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■の分取デバイス■■■■■■■■や、超薄板ガラスの物理的な安定性・一様性を利用した受精卵特性計測用のカンチレバーセンサーデバイス■ ■、ガラス表面の金属電極にナノギャップ作製し、菌類やエクソソームなどナノスケール試料の計測が可能なデバイスを開発し、本手法の有用性を証明した。■本研究は、 ■■■年度公益財団法人天田財団の研究助成を受けて行ったものであり、同助成会に心より感謝を申し上げます。また、同研究にご協力いただきました信越化学工業株式会社、松浪硝子工業、日本電気ガラス、国立研究開発法人理化学研究所集積バイオデバイスチームの皆様に重ねてお礼申し上げます。■■− 92 −
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