レーザプロセッシングレーザプロセッシング− 55 −キーワード連絡先メールアドレスキーワード連絡先メールアドレス［応用分野］名古屋工業大学 電気・機械工学科 機械工学分野 助教［応用分野］学習院大学 理学部化学科 助教AF-2019232-C2奨励研究助成（若手研究者枠）AF-2019233-C2奨励研究助成（若手研究者枠）レーザ加工フェムト秒レーザ，CVD ダイヤモンド・コーティング工具ベンディング，刃先創製ryu.gyogyoku@nitech.ac.jpレーザー加工近接場，酸化亜鉛，フォトルミネッセンス，金属薄膜takahiro.kondo@gakushuin.ac.jp劉 暁旭近藤 崇博本研究の目的は，超短パルスフェムト秒レーザを用いて従来性能を凌駕する新たなCVDダイヤモンド・コーティング切削工具（以下CVDD工具とする）を創製することである．CVDD工具は，高硬度，高耐摩耗性及び低摩擦特性を有したうえで，安価に製造することが可能であるという利点から，実用切削工具への適用が進められている．しかし，CVDD工具には以下の2つの課題がある．一つは，被膜形態を維持するために工具切れ刃の丸みが大きくなり，ポリッシング等の後続加工による鋭利化処理が必要となる．もう一つは， 膜内には結晶粒界などにアモルファスな欠陥部が多く，これが硬度低下をもたらす．そこで本研究では，上記を解決するために，フェムト秒レーザのアブレーション加工に着目して，鋭利な刃先の形状『良好な切れ味』と高密度エネルギ照射による表面改質『機能性付与』を両立した加工手法を提案する．本研究は，近接場の光化学反応による金属酸化物ナノ構造体の合成手法の開発を目的とするものである．近接場光とは，光の波長よりも極めて小さい金属等の物質に光を照射した際，その物質の周りに局所的に発生する光である．そのサイズは微小物質のサイズに依存するため，光の回折限界よりも小さな光を生成できる．近接場光を利用すれば可視光でも波長より小さな微細パターンを形成できる．本研究では，近接場の生成には金と銀の蒸着により得られるアイランド状の構造を利用した．また，作製する金属酸化物は酸化亜鉛とし，ゾルゲル法を利用して前駆体を作製した．波長532 nmおよび266 nmのレーザー処理を行うと処理前とは異なる発光体が観測された．しかし，酸化亜鉛の合成は確認されなかった．今後，加熱を併用するなどの工夫によって本手法の開発を進めていきたい．フェムト秒レーザを用いた多結晶CVDダイヤモンド・コーティング工具の高機能刃先創製近接場光を利用したナノスケール金属酸化物合成プロセスの開発
元のページ ../index.html#57