■■■４．結言謝辞参考文献加工で大きいことがわかる．恐らく，CO2レーザーにおいては，サンプルの表面温度が広い範囲で上がっており，酸化層がより大きく形成されたためと考えられる．また，長尺SWCNTの添加によって若干ダメージ層が広いように感じられるかもしれないが，熱伝導率の低下が影響している可能性があると考えられる．以上の結果より，レーザー加工を試した全てのサンプルにおいて大きな差がなく，厚さ1.5mmを約10で加工が可能であった．色およびカーボン層の連続性（電気抵抗率）に関して加工できることを重視して試験したため，出力が高すぎた可能性もある．出力を下げて試験することによって，これらの因子の影響を調べることは可能かもしれない．また，本複合材料では長尺SWCNTをわずか0.4vol％添加することによって，7×100Ωcmの電気抵抗率を示し，実際，放電加工可能な100Ωcm台の低抵抗を達成している．絶縁体のセラミックスであっても微量の導電相で抵抗を下げて放電加工が可能になることが報告されている6,7）．図11には放電加工の結果を示している．0.4vol％添加のものでは放電が確認され芯出しまでできたが，貫通孔の形成は不可能であった．しかしながら，0.5vol％以上添加することにより，貫通孔を作製することができた．ただし，加工時間が厚さ1.5mmのものでも，長尺SWCNT0.5vol％添加で54分，0.6vol％添加で34分を要し，レーザー加工よりもはるかに長い加工時間を要した．図■■■放電加工ff■■■■■■■■ ■ff■■■■■■■■■■■■■長尺■■■■■■■■■■■■■■■■■■ 高硬度と高熱伝導性を有するAlNセラミックスの加工コストを低下させるために，レーザー加工を導入することは有効である．本研究では，AlNのレーザー加工を可能に■■■■■■■■■■■長尺■■■■■■■■■■■■■するために，カーボン連続相を導入し，その効果について調べた．カーボン相として長尺SWCNTを添加することにより，従来のCNTの10分の1であるわずか0.2vol％で，100W/mKの高熱伝導を維持した状態で，102Ωcm台の低抵抗を達成した．これより，長尺SWCNTを用いることにより，AlN中にわずか0.2vol％でカーボンの連続相を形成できることがわかった．これらのサンプルにファイバーレーザーとCO2レーザーの2種類のレーザー加工を行ったところ，全てのサンプルにおいて同程度の加工が可能であり，レーザー吸収能力に優れたカーボン材料の導入に関して，色や連続性の影響を見ることはできなかった．より出力の低い加工条件を適応することにより，効果を調べることが可能になるかもしれない．本研究は，公益財団法人天田財団の ■■■年度一般研究開発助成（■■■ ■■■ ■■■■ ）を受けて実施されたものであり，厚く謝意を表します．また，本研究を遂行するにあたり，加工の試験をしていただいた東成エレクトロビーム㈱および伊藤精工㈱に深く御礼申し上げます．１）T. Kusunose, Y. Kim, T. Sekino,T. Matsumoto, N. Tanaka, T. Nakayama,K. Niihara:J. Matr. Res.,20(2005) 183-190.２）T. Kusunose, T. Sekino, Y. Ando, K. Niihara:J. Mater. Res.,３）Kusy. R: J. Appl. Phys, 48(1977) 5301-5305.４）T. Kusunose, A. Fujita, T. Sekino: Scrp. Mater., 159 (2019) ５）T. Kusunose, T. Sekino: Ceram. Inter., 42(2016) 13183-６）T. Kusunose, T. Sekino, K. Niihara: Acta Mater., 55(2007) ７）T. Kusunose, D. Tominaga, T. Sekino: J. Asia. Ceram Soc., 23(2008) 236-244.24-27.13189.6170-6175.10(2022) in print.− 330 −
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