Mean diameter=61.3 nm 215 nm粒子を無作為に抽出し粒子径を測定した．その結果，一部■■■■■を超える大きさの微粒子を確認したが，平均して■■■■程のナノ粒子が作製されていた．図■基板表面に付着したナノ粒子の粒径分布．図■はこのナノ粒子の透過型電子顕微鏡ff■■■■像と電子線回折像である．観察に際して，基板上の粒子をスパチュラを用いて捕集瓶へ落とし，少量のエタノールと共に超音波洗浄させることで微粒子の回収を行った．洗浄を行った後のエタノールを■■■グリッド上に滴下し，乾燥させて■■■観察を行った．この際，より詳細な炭素の元素マッピング結果を得るために，■■■グリッドには炭素を含まない■■■メンブレンを用いている．電子線回折像から，■■■のナノ結晶が形成されていることが確認できる．これと同時に元素マッピングによる分析も行っており，粒子サイズに関わらず内部まで炭化が進んでいることを確認している．図■基板表面に付着したナノ粒子の■■■像と電子線回折像．本手法は既存の炭化モリブデンナノ粒子作製手法と比較して工程が少なく，作製系が単純であり，■■■ナノ粒子を作製する新たな手法として期待できる．次にモリブデン基板のレーザー照射領域を■■■で観察した結果を図■に示す．照射部には超短パルスレーザー加工特有のナノ周期構造が形成されており，その周期はおおよそ ■■■■程度である．図■■レーザー照射部の基板の■■■像．ナノ周期構造の溝幅は ■■■■■図■には，モリブデン基板のレーザー照射領域の■■■による分析結果を示す．立方晶の炭化モリブデン及び基板のモリブデンのピークを観察し，レーザー照射面が炭化されていることを確認した．さらに■■■により，レーザー照射面の分析を行った．図■に測定した■■■スペクトルを示す．照射面からは■■■■■，■■■■，■■■■軌道の電子に関するピークを得た．またそれぞれのスペクトルに対して，フォークト関数を用いてピーク分離を行い，■■■■■軌道のスペクトルから■■ ■，■■■■，■■■■由来のピークを得た．この内■■ ■はカーバイド由来のピークであり，■■■■軌道のスペクトルからも■■■■結合由来のピークを確認することができる．他の分析結果と合わせて■■■由来のピークであると考えられる．他の■■■■及び■■■■のピークに関しては，■■■■と■■■■のスペクトルに■■■，図■レーザー照射部の■■■スペクトル．図■レーザー照射部の■■■スペクトル．− 321 −
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