謝■辞■■■参考文献■では光は透過する．一方，基板であるシリコンは可視領域では数10％吸収するため表面改質が起こったと考えられる．また，ガラス化した部分のシリコン表面もまた改質していると考えられるため，屈折率の解析に影響を及ぼしたと思われる．今後ガラス基板上のシリコーンオイルに対して照射実験を行い，正確な屈折率変化を求める必要がある． ７．考察およびまとめ■本研究では，レーザー造形法を用いて，石英ガラス表面に構造を形成することを目的に，レーザー照射によるシリコーンオイルの屈折率変化を干渉分光法により評価した．またフェムト秒パルスレーザーを用いて，多光子吸収過程により紫外光と同様にシリコーンオイルのガラス化が可能であることを実証した． 以下の知見が得られた． ①レーザー照射によるシリコーンオイルのガラス化を評価するために，分光反射光計測光学系を構築し，干渉分光法による屈折率解析を確立した．シリコンウェハ上のシリコーンオイルの変化については高精度と高安定性で評価が可能であることが分かった．また試料を移動することにより屈折率および膜厚の空間分布も評価可能である．今後，高分解能，オンラインモニタへと発展が期待できる． ②波長193 nmの紫外レーザー光により，ガラス化されたシリコーンオイルの屈折率は最大1.3であり，ポーラス状になっていると考えられる．またシリコン―オイルの塗布と照射を繰り返すことにより，積層しガラス化が可能であることを示した．これにより当初の目標であるガラス三次元造形が可能であることが実証できた． 1) 本越伸二：天田財団助成研究成果報告書2018，2) H.A.Macleod: Thin-Film Optical Filters （訳小倉繁太郎3) 小檜山光信：光学薄膜の基礎理論（オプトロニクス③フェムト秒パルスレーザーによる多光子吸収を利用し，シリコーンオイルのSi-C結合を切断，ガラス化が可能であることを初めて実証した．この結果，ビーム品質の良いフェムト秒パルスレーザーを用いることにより微小スポットに集光照射が可能となり，微細な構造形成が可能である． 今後，更にレーザー照射条件に対するガラス化の精度，再現性等を評価しながら，透過型回折格子の形成に挑戦する予定である． 本研究は，公益財団法人天田財団より研究助成（一般研究開発助成■■■ ■■■ ■■■■ ）により行われた．ここに謝意を表します． また本研究の一部は大阪大学レーザー科学研究所の共同研究として実施された．大阪大学藤岡加奈准教授，近畿大学吉田実教授に感謝いたします． 他，1989年）p.13. 社，2002年）p.52. AF-2015216 − 299 −
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