向方り送り送1)2)3)カスリヤ，渡辺，後藤，神：球形状焼結ダイヤモン４．まとめ謝辞参考文献さが■■■ff■■■■となり高品位な加工が達成できているといえる．■■■の研磨済工具の加工面には，全体的に凹凸や割粗さが■■■■■ff■■■■となっており，■■■と比べて粗いことも図■に切削溝断面形状を示す．同図より，■■■の未研磨工具での平均切削深さは■■■■■■，■■■の研磨済工具での平均切削深さは■■■■■との結果が得られた．研磨済工具よれなどを表す斑点状の切削痕が目立ち，脆性破壊を主体とする加工になっていることが確認できる．また，算術平均わかる．さらに，双方の切削抵抗値では，未研磨工具より研磨済工具の方が高いことから，切削抵抗が低いと延性モードでの加工になり，切削抵抗が高いと脆性破壊を主体とする脆性モードでの加工になることが確認できる．り未研磨工具の方が概ね設定値通りの深さで加工されたことが確認できた．■■■■■未研磨工具■■■■■■■■研磨済工具図■加工面観察結果および加工時切削抵抗値目標切削深さ：■■■■■平均切削深さ：■■■■■■目標切削深さ：■■■■■平均切削深さ：■■■■■切削方向4400 µµmm 表面粗さ：8.9nm Sanm Sa抵抗値：0.92 N研磨済工具より未研磨工具を用いた方が高品位な加工となっている理由としては，切削抵抗が低かったことにより加工面の表面粗さが良くなったためであると考察できる．また，先行研究では，超硬合金を加工する際に■■■いう報告がある■）．しかし，本研究で研磨済工具より未研工具表面を研磨することで，ダイヤモンド表面が平坦に仕上げられているため，砥粒境界箇所が微細な切れ刃となり延性モードでスクラッチのない鏡面加工が達成できると磨工具の方が，加工面性状や切削深さで良い結果を得られたことにおいては，サファイアほどの硬質材料を加工する場合，上記の加工メカニズムが機能しなかったために，研磨済工具では高品位な加工面および設定値通りの加工深さが達成できなかったものと推察される．よって，本実験条件下においては，単結晶サファイアに対して微細溝加工を行うには表面を研磨しておらず砥粒の突き出しを確保している未研磨工具が有効であると考えられる．ナノ多結晶ダイヤモンドに対し，フェムト秒レーザを搭載したダイヤモンド工具成形専用装置を駆使することで，同素材の高品位・高効率工具成形技術を確立し得た．さらに，単結晶サファイアに対し微細かつ高品位加工を達成するための基本条件を検証するため，■■■工具を用いて，微細溝加工特性を評価した．本研究により，サファイア製キャピラリ等の微細加工を達成するための工具製作及び加工条件設定に関する基本的知見を得ることができた．今後，ナノ多結晶ダイヤモンド工具を用いて，長尺サファイア製キャピラリの高精度高効率加工を実施することを継続的に検討する．本研究は公益財団法人天田財団に一般研究開発助成として採択されたものであり，同財団の有難いご支援に対し深くお礼申し上げる．4400 µµmm 表面粗さ：36.7nm Sa表面粗さ：抵抗値：1.24 N+0.1 µm-0.1 µm− 237 −■■■■■ff■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■synthetic diamond “Ultra■■■■■■ff■ff■■■■■■■■■■■■■■■ff■■diamond”, SEI Technical Review, 74, (2012) 15.ド工具による金型の鏡面仕上げに関する研究ff第■報■■超硬合金に対する加工特性，■■■■年度砥粒加工学会誌，■■■■■■■■■■■■■■■■■■，■■■■■■■■■■■未研磨工具■■■研磨済工具図■加工後の溝断面形状
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