表■加工条件■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■図■成形した■■■■工具の■次元形状測定結果硬脆材料に対し■■■工具を用いて加工する際は，先端な加工面を得られるという報告がある■）．しかし，研磨の図■に加工面観察結果および表面粗さ測定値を示す．同図より，■■■の未研磨工具の加工面には，微細な凹凸や割高さ高さ00３．■■■工具によるサファイアの微細溝加工をツルーイングff研磨■している工具を用いる方が高品位有無により工具刃部の表面性状が異なる工具を用い，サファイアのような硬脆材料を加工する研究はなされていない．さらにサファイアに対し微細形状加工を試みる際には，脆性破壊による材料除去，切削力による工具のたわみや破損，工具摩耗による仕上げ面精度など多くの課題を有している．本研究では，研磨の有無により工具刃部の表面性状が異なる■■■ラジアスエンドミルを用い，単結晶サファ使用した工具は，直径■■■■■■，コーナ ■■■■■■■の研磨の有無により工具刃部の表面性状が異なる■■■ラジアスエンドミル（日進工具）である．研磨有無の■■■工具および表面プロファイル測定結果を図■に示す．工具表面のツル―イングの有無によりダイヤモンド砥粒の突き出プロファイル測定結果を図■に示す．表■に■■■工具のエアタービンスピンドル主軸，リニアモータ駆動による■イアの微細溝加工特性を評価した．実験では，工具の輪郭形状を転写する単純な溝加工を行い，加工後の表面性状を評価し，適切な加工方法を比較検討した．■■■■実験方法をそれぞれ研磨済工具，未研磨工具と称する．両者の外観し高さが異なることが確認できる．両者の外観および表面研磨有無による溝加工実験の加工条件を示す．加工装置は，軸の送り軸および■軸の回転軸で構成された超精密加工機（■■■■■■■■■■■■■■，ソディック）を使用した．加工した溝の粗さ測定には，白色光干渉顕微鏡（■■■■■■）を使用非接触表面性状測定装置■■■■■ff三鷹光器■を使用した．した．工具観察には走査電子顕微鏡ff日本電子■を用い，加工した溝の形状測定および工具刃部の表面性状測定にはスピンドル回転数切込み深さ総切込み深さ送り速度切削距離クーラント■■ 実験結果および考察れなどを表す斑点状の切削痕は確認されない．算術平均粗未研磨工具不水溶性切削油研磨済工具チャンファチャンファ逃げ面すくい面エッジ部プロファイルすくい面第一逃げ角第一逃げ角第一逃げ角第一逃げ角8.648.648.64°逃げ面μm-50100μm− 236 −100 µm100 µmµm10 µm10 µmµm最大高さ：■■■■µm Rz，算術平均粗さ：0.61 µm Ra位置µm最大高さ：■■■■µm Rz，算術平均粗さ：0.19µm Ra位置µm■■■未研磨工具の外観及び刃部表面性状■■■研磨済工具の外観及び刃部表面性状図■未研磨と研磨済の■■■工具■■■■成形前（ブランク材）■■■■■■成形後図■ブランク材とレーザ成形後の工具の様子
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