10.90.80.70.60.50.40.30.20.10]N[]Ω[0]%[0長]%[00率長伸の線配率長伸(左)0%伸長(中央)200%伸長(右)破断時250%伸抗抵力張1009080706050403020100102030銅箔の厚み[μm]40(a)(b)181614121086420250200150100505050100150ひずみ[%]2550プリストレッチ基板の伸長率[%]への影響.20025075100に到達する前,つまりは銅箔が平面状に伸び切る前に破断してしまったためと考えられる.図■作製したストレッチャブル配線の断面写真(a)プリストレッチ■■(b)プリストレッチ■■■.図■銅箔の厚みによる伸長率の違い.プリストレッチ法による伸長率の改善コルゲート加工にプリストレッチ法を組み合わせたサンプルを作製し,破断試験を行った.破断試験の結果の例を図■に,破断試験の様子の一例を図■に示す.また破断試験の結果を図■にまとめる.今回作製したサンプルの全ての場合で抵抗値は■■Ω■■■以下であり,破断するまでの抵抗の変化は±■■■■Ω■■■以下であった.プリストレッチ基板の伸長率を■■にした場合,作製したサンプルの伸長率は■■ ■であったが,プリストレッチ基板の伸長率を大きくすることで,伸長率が最大 ■■まで改善した.図■プリストレッチ法を用いて作製したストレッチャブル配線の引張試験の測定例.図■プリストレッチ法を用いて作製したストレッチャブル配線の引張試験の様子.図■プリストレッチ基板の伸長率による配線の伸長率■■■ひずみまでの伸縮のサイクル試験を行った結果を図■にまとめる.プリストレッチ■■のときの破断までの回数は最小で■■回,最大で■ ■回であったが,プリストレッチ■■■のときは最小で ■■回,最大で■■■回とサイクル試験の結果が改善した.計算値幾何モデルによる予測値実験値− 212 −
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