R3SiR1SiOR4R1SiR2SiR5R6TiR7SiR1SiOOOOOOOOOOO・HDD・LSI隙隙間間極極端端紫紫外外光光EUV１．研究の目的と背景ナナノノ・・ママイイククロロメメーートトルルレレベベルルのの微微細細加加工工をを施施ししたたママススタターー金金型型（（石石英英））酸酸化化ケケイイ素素酸酸化化チチタタンン系系ココポポリリママーー３３次次元元金金属属積積層層中中空空造造形形下下地地基基板板耐耐熱熱ガガスス透透過過性性多多孔孔質質ハハイイブブリリッッドド金金型型のの鍵鍵ととななるるガガスス透透過過性性表表層層材材「「酸酸化化ケケイイ素素酸酸化化チチタタンン系系ココポポリリママーー」」のの合合成成Si隙隙間間にによよりりガガスス透透過過性性をを付付与与材材質質：：ママルルエエーージジンンググ鋼鋼平平均均粒粒径径 ■■〜〜■■■■μμmmキーワード：射出成形，ガス透過性金型，表面ナノ加工プラスチック加工製品は比較的安価で任意の加工形状に成形しやすい点から、日用品や医療機器など多種多様の分野で利用されている。近年、ナノ・マイクロメートルレベルの微細加工をプラスチックの表面に施し、抗菌・防汚・撥水性等の機能を付与する技術がプラスチック加工製品の高付加価値化・新製品開発・差別化のため注目されている。また、前述のプラスチックの機能発現のために、半導体やディスプレイの製造に使用されているナノ・マイクロメートルの微細加工技術（光・■■■リソグラフィ、電子線■■リソグラフィ、インプリントリソグラフィ、及びエッチング加工）を適用するには、成形加工面積や曲面加工に限界があり、且つコスト高になる課題が山積していた。100μm10μm1μm電子線EB100nm10nm10mm図１ガス透過性金型による射出成形技術の適用範囲図１に本研究の目的を示す。ナノ・マイクロメートルレベルの微細加工をプラスチックの表面に施すために、大学シーズである射出成形用耐熱ガス透過性多孔質ハイブリッド金型（モールド・テンプレート）を新設計し、プラス富山県立大学工学部医薬品工学科（ ■■■年度一般研究開発助成■■■ ■■■■■■－■ ）教授竹井敏２．実験方法・結果チック成形加工技術の一つである射出成形技術の適用範囲拡大によるプラスチック加工製品の高付加価値化・新製品開発・差別化を目指した。 ・■耐熱ガス透過性多孔質ハイブリッド金型の表層材■酸化ケイ素酸化チタン系コポリマーの合成■耐熱ガス透過性多孔質ハイブリッド金型の設計方法を図２に示す。耐熱ガス透過性多孔質ハイブリッド金型のガス透過性表層材には、酸化ケイ素酸化チタン系コポリマーをゾルゲル法により新設計し、合成した。図２プラスチック射出成形用耐熱ガス透過性■■■多孔質ハイブリッド金型の製造方法改良された酸化ケイ素酸化チタン系コポリマーは、既存の酸化ケイ素ポリマーに比べ原子同士の間の隙間が多くなるように架橋密度と分子量・分布を最適化した。イインンククジジェェッットト・バイオチップ微微細細加加工工寸寸法法・光導波路光光リリソソ・・光学素子射射出出成成形形適適用用範範囲囲のの拡拡大大（（目目的的））印印刷刷・マイクロレンズアレイ・機能性フィルムデバイス面積ガス透過性多孔質金型ナノインプリントの領域へ・FPD100mm1mR4R8SiOR4R9Tiププララススチチッックク射射出出成成形形用用耐耐熱熱ガガスス透透過過性性多多孔孔質質ハハイイブブリリッッドド金金型型− 170 −耐熱ガス透過性多孔質ハイブリッド金型の開発
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