本研究では，高能率加工を行うために変形加工である「ナノインデンテーション」に着目し，レーザ加工を応用した単結晶ダイヤモンド等のマイクロインデンテータ（圧子）を創成し，超音波振動援用のナノインデンテーションシステムを開発し，超音波振動を付加することによる無電解Ni-Pなどのアモルファス金属材料の高精度・高能率塑性変形特性を明らかにし，微細で構造的な超精密形状の創成の高精度・高能率加工を実現することを検討した．その結果，無酸素銅，黄銅，無電解Ni-Pなどの精密金型材料に対して，高精度で高能率に微細加工できることが示された． 本研究は，科学研究費補助金 基盤研究（B）20H02486，公益財団法人天田財団一般研究開発助成（AF-2018032-B3），中部大学生産技術開発センターの助成により行われた．関係各位に謝意を表します． 1） Yoshioka H, Kojima K, Toyota D (2020) Micro Patterning Curved Surface with a Fast Tool Servo System for Micro Milling Process: CIRP Annals – Manufacturing Technology 69(1): 325-328. 2） Brinksmeier E, Riemer O, Gessenharter A, Autschbach L (2004) Polishing of Structured Molds: CIRP Annals 53(1):247–250. 3） Suzuki H, Okada M, Yamagata Y, Morita S, Higuchi T (2012) Precision Grinding of Structured Ceramic Molds by Diamond Wheel Trued with Alloy Metal: CIRP Annals – Manufacturing Technology 61(1): 283–286. – Manufacturing Technology 4） Suzuki H, Okada M, Lin W, Morita S, Yamagata Y, Hanada H, Araki H, Kashima S (2014) Fine Finishing of Ground DOE Lens of Synthetic Silica by Magnetic Field-Assisted Polishing: CIRP Annals – Manufacturing Technology 63(1): 313–316. 5） Suzuki H, Okada M, Fujii K, Matsui S, Yamagata Y (2013) Development of Micro Milling Tool Made of Single Crystalline Diamond for Ceramic Cutting: CIRP Annals – Manufacturing Technology 62(1): 59–62. 6） Suzuki H, Okada M, Asai W, Sumiya H, Harano K, Yamagata Y, Miura K (2017) Micro Milling Tool Made of Nano-Polycrystalline Diamond for Precision Cutting of SiC: CIRP Annals – Manufacturing Technology 66 (1) 93–96. 7） Abdullah A, Paknejad M, Dashti S, Pak A, M Beigi A (2014) Theoretical and Experimental Analyses of Ultrasonic-Assisted Indentation Forming of Tube: Proceeding of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Jornal of Engineering Manufacture 228(3): 388-398. 8） Michalski M, Lechner M, Gruber L, Merklein M (2018) Influence of vibration on the shear formability of Manufacturing Technology 67(1): 277–280. 9） Suzuki H, Hamada S, Okino T, Kondo M, Yamagata Y, Higuchi T (2010) Ultraprecision Finishing of Micro-Aspheric Surface by Ultrasonic Two-Axis Vibration Assisted Polishing: CIRP Annals – Manufacturing Technology 59(1): 347–350. metallic materials: CIRP Annals – ４．結 言 謝 辞 参考文献 − 165 −
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