次に，無電解Ni-P，無酸素銅，6-4黄銅を材料に対して，インデンテーション荷重，インデンテーション深さを変化させて特性を評価した．３種類の材料に対して，インデンテーション深さの変化によるインデンテーション荷重の変化を図7に示す．超音波振動の振幅が大きいほど変形に必要な荷重が小さくなっていることがわかる． (a) 無電解Ni-P 図7 超音波振動のインデンテーション深さに対する 荷重の変化 また，設定したインデンテーション深さに対する実際の加工深さの変化を図8に示す．いずれの超音波振動の振幅においても設定深さ通りの加工が行われている． (b)無酸素銅 (c)6-4黄銅 図8 インデンテーション深さに対する加工深さの変化 次に，圧子に対するインデンテーションの転写性を検討した．90度の四角錐のインデンテータを用いて，視聴音波振動の振幅に対する転写性を評価した結果を図9に示す．単結晶ダイヤモンド製の圧子およびインデンテーションを行って加工した金型の形状は先端半径が2μmの接触式形状測定機UA3Pを用いて計測した．超音波振動の振幅が大きいほど転写性が優れていることがわかる．無電解Ni-Pは最も硬度が高いが，転写性は比較的良好であった．比較的硬度が低い黄銅が最も悪かった． (a)無電解Ni-P (b)無酸素銅 (c)6-4黄銅 − 163 −
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