レーザプロセッシングレーザプロセッシング− 36 −キーワードキーワード連絡先メールアドレス連絡先メールアドレスキーワードキーワード連絡先メールアドレス連絡先メールアドレス［応用分野］［応用分野］静岡大学 電子工学研究所 准教授［応用分野］［応用分野］電気通信大学 情報理工学研究科 特任研究員AF-2018225-C2奨励研究助成（若手研究者）AF-2018226-C2奨励研究助成（若手研究者）レーザー加工，タッチパネル，電子デバイス透明電極，光還元，金属ono.atsushi@shizuoka.ac.jp超短パルスレーザー加工，光ファイバセンシング，金属ナノ粒子センシング超短パルスレーザー加工，光ファイバセンシング，局在型表面プラズモン共鳴m-shiraishi@uec.ac.jp小野 篤史白石 正彦レーザー集光照射光還元反応による超微細金属メッシュ透明導電性膜の開発フェムト秒レーザーによる光ファイバへの微小空間形成と生体センシングへの応用タッチパネルの急速な普及と大型化への需要に伴い，近年金属メッシュ透明導電性膜が開発されている．しかし，マスクリソグラフィやインクジェット法などの従来技術によるパターニング分解能は数_mが限界であり，視認性の観点からサブミクロン線幅の実現が求められている．我々の研究グループは，光還元反応によるサブミクロン線幅の金属細線作製技術を確立した．金属イオンを含有した透明ポリイミドに対してレーザー光を集光照射することにより，金属を還元析出させるパターニング技術である．本技術を応用し，マスクレスの直接描画により，今まで不可能であった線幅1µm以下の金属メッシュ透明導電性膜を開発する．本研究にて，レーザー光還元法により作製された銀細線の抵抗率についてレーザーパワー・走査速度依存性を明らかにし，金属メッシュ透明導電性膜を作製し，現行のITO透明電極に対して高い可視光透過率及び低いシート抵抗値を達成した．本報告では，フェムト秒レーザーによる光ファイバへの加工とその応用について述べ，特に穴あけ構造を採用した光ファイバ（光ファイバ型分光セル）に着目し，光ファイバ型分光セルによる試験的な計測の応用についての検証結果を示した．光ファイバを貫通する穴あけ構造形成のためのフェムト秒レーザー照射パラメータを明らかにし，金ナノ粒子分散溶液の分光セル注入によるナノ粒子固有の消光スペクトルが取得可能であることを示した．さらに，金ナノ粒子凝集を利用した生体センシング手法を原理とし，光ファイバ型分光セルとの組み合わせによる生体分子検出・計測の可能性を明らかにした．本研究課題によって，ピコリットル程度の微小体積で生体分子を検出可能な分光計測手法が提案され，新たな光学手法が実現された．
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