助成研究成果報告書Vol.34

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■3■■■■■■■SEM■■■■■■■■■1.2mW, ■■■■10µm/sec.■3■■■■■■■■■1.2mW■■■■■10µm/sec■■■■■■■■■■■■■SEM■■■■■■■■0.93µm■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■SEM■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■4■■■■■■■■■1.0mW■■■■■30µm/sec■■■■■■■■■■■■■SEM■■■■■■■■■■■■X■■■■EDS: Energy Dispersive X-ray Spectroscopy■■■■■■■■■L■■■■X■■■■■■■■■2.984keV■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■‣■■■■■■■■■■■■■■■■4(a)■■■■■■■SEM■■■■■■■■■■1.0 mW■■■■■30 µm/sec■(b)■■■■■■■(a)■EDS■■■■■■■■■■2.984 keV■■■■■■■■■2 ■■■■■■■■■■２．実験方法３．実験成果■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■µ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■-7■■■■■■■-6■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■CW■■■■■■■405nm■OBIS FP 405 LX,Coherent■■■■■■■■■■■■■■■■■■2■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■fi■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ND■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■300nm■■■■■■ff■■■■■■CW■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■SEM■AFM, ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■4■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■×■■■■■■■■5■■■■■■■■■1.0mW■5.0mW■■■■■1.0µm/sec■1000µm/sec■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■×■■■■■■■■■■■■■1.4mW■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■1.0mW■■■■■100µm/sec■■■■■■■■■■0.8µm■■■■■■− 246 −