図6各レーザ条件で作製した隆起アンカー層表面のSEM像図7各レーザ条件で作製した隆起アンカー層断面のSEM像mm･s-1および100 mm･s-1において均一に粒状生成物が生成した．比較的高出力・低走査速度の条件である400 W-10 mm･s-1においては粒状生成物が大きく粗大化した．図7に各レーザ条件で作製した隆起アンカー層断面の代表的なSEM像を示す．なお，基板表面に何も形成しなかった200Wで50 mm･s-1，70mm･s-1，100 mm･s-1の条である，200Wで50 mm･s-1，70mm･s-1，100 mm･s-1の条件では，基板上に何も形成しなかった．また，200 Wで10 mm･s-1および30 mm･s-1の条件では粒状生成物が生成したが，その分布はやや不均一であった．250W，300 Wの条件ではいずれの走査速度においても粒状生成物が均一に生成したことが認められた．400 Wの条件では，50 − 421 −
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