(a) シート熱電対の配置 Fig. 3 シート熱電対の温度測定方法 Fig. 3(a), (b)に，シート熱電対(八光電機製 HTK3501)(a) 300 秒, 2.2 W Fig. 4 レーザ出力2.2～3.7 W，照射時間300秒でPVC基板に形成されたNi-P析出物のSEM像3) (b) 測定部の拡大図 Fig. 4(a), (b), (c)に，それぞれレーザ出力2.2W, 3.0W, 3.7Wで，照射時間300 秒，伝搬長3～5 mmのレーザプレーティングによるNi析出物のSEM像3)を示す．レーザ出力2.2WではNiの析出はほぼ見られない．一方，レーザ出力3.0W, 3.7WではNiの析出が見られ，レーザ出力の大きさに比例して，Ni析出物が大きくなっていることが分かる．レーザ出力3.0W, 3.7Wで，Ni析出物の半径はそれぞれ約200 μm，250 μmであり，レーザの影響範囲の半径はそれぞれ約300，400 μmであった． Fig. 5に，レーザ出力3.7 WのときのNi析出物の断面プロファイルを示す．Ni析出物の中心部が最も高く，半径250 μmの位置からNi析出物の厚みが急激に薄くなり，半径400 μmの位置で基板の高さになる． Fig. 6に，ロッドなし（伝搬長3～5 mm）で，レーザ出力0.5～3.7 WのときのX軸方向の温度分布を示す．レ(b) 300 秒, 3.0 W (c) 300 秒, 3.7 W の中心部をXY軸の原点となるように，ガラス基板上に設置した．自動ステージを用いて，X軸，Y軸方向は0.1 mm 間隔，Z軸方向は1 mm 間隔で移動させ，10秒以上照射させた後，基板温度を測定した． ３．実験結果 3-1 温度分布とNi析出物の関係 ーザ出力の大きさに比例して，中心部の最高温度および半値幅が大きくなる．この温度分布から，レーザ出力3.7WにおけるNi析出物の半径250 μm～ レーザ影響範囲の半径400μmにおける温度は，約200～160℃である．つまり，この温度範囲において，Ni析出温度のしきい値があると考えられる． 集光レンズから基板までの距離を照射距離とし，照射方向をZ軸方向とする．石英ロッドの端部をめっき液に浸漬させ，レーザ光は石英ロッドを介してめっき液に照射するようにし，ロッド端面をZ方向に位置を動かすことで，レーザ伝搬長を1 mm～5 mmの範囲で制御した．石英ロッドを用いない場合は，めっき液の循環量でめっき液面を制御することで，レーザ伝搬長を3～5 mmとした．無電解めっき浴は，低リンタイプの無電解Ni-P浴（メルテックス製エンプレートNI-426）を用いた．レーザ出力は， 0.5～3.7 Wの範囲で変化させた． による温度測定方法を示す．シート熱電対は，クロメル／アルメルの積層板をスポット溶接したシート状のK熱電対を厚さ0.3 mm程度のポリイミドフィルムで被覆したものである．このシート熱電対の電極部（幅：約2 mm）− 342 −
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