− 31 −塑性加工キーワード連絡先メールアドレス［応用分野］同志社大学 理工学部 エネルギー機械工学科 准教授AF-2017037一般研究開発助成塑性加工，強度評価DLC，表面疲労，超音波monakamu@mail.doshisha.ac.jp中村 守正超音波加振を用いた硬質皮膜のギガサイクル表面疲労強度評価法の開発ランジュバン型超音波振動子を用いた硬質皮膜の繰返し押付け試験機を設計，製作し，実際にDLC膜に対する押付け試験を行った．ランジュバン型超音波振動子の発振安定性は，振動子を装置に取り付けるために用いるボルトの締付けトルクに大きく影響を受けることがわかった．超音波振動子に取り付けたホーン先端の軸方向変位の大きさは，振動子に印加する電圧と共振周波数によって制御できた．超音波振動子を用いた繰返し押付け試験によって，低い基板バイアス電圧で形成したDLC膜と高電圧で形成したものとでは，損傷モードが大きく異なっていた．超音波振動子を用いた繰返し押付け試験の圧痕とインバータモータを用いた場合の圧痕を比較したところ，圧痕の大きさや損傷モードに大きな差は見受けられなかった．このことから，より早く試験を終了できる超音波振動子を用いた試験法の優位性を確認できた．
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