助成研究成果報告書Vol33

298/466

■■■■Si(100) - ■■■■■■ 0.086 J/cm2 ■■■■■■■10■■■■■■ ■■■■■■■■■1■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■“■”■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff (2) ダブルパルス照射による加工過程 ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■2■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■10■■■■■■■■■ff ■■■■■■■■Si(100) ■■■■■■■■■1■■■■■■■■■■ 15 µJ (0.086 J/cm2) ■■■■■■■■■■■■■■■■■■ -0.1 ps ■■550 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■0.17 J/cm2■ 10 ■■■■■■■■0.086 J/cm2■ 20 ■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff2■■■■■■■■■ ±0.2 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■0 ■ 4 ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■ff0.2 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff0.5 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ 1 ps ■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■ 1 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■ff■■■■■■ 5ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff 40 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■1st ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff200 ps ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff550 ps■■■■■■■■■■1 ms − 296 −