助成研究成果報告書Vol33

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■■ ３．結果・考察 (1) 加工の初期過程 ■■■■■■■■■■■■TiS■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■■■■ff ■■■■■■■■■■■■■ff■■800 nm ■TiS ■■■■■■■ λ/2 ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■ 550 ps ■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ 30 cm ■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■ CCD■■■■■■■■■■■143 µm × 155 µm ■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■■■■■■■■■■■■■■ (Si) ■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■Si■■■■■■■■■■■ff■ (100) ■ (111) ■ Si ■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■Si■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■ Si(100) ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■1■■■■■■■■■■■■ff■■■■■　■■■■■■■■■■■■■40 µJ ■■■■■■■■■■ 0.23 J/cm2 ■■■■■■ff■■■■■■■0.14 J/cm2 ■■■■■■■■■■■■■■■■0.11 J/cm2■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■2,3)ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■　■■■■■■■■■■■■■■■■ff■■■30■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff ■■■0.12 J/cm2 ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ff2■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■　■■■■ff■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■Si(100) - ■■■■■■ 0.12 J/cm2■■ ■■■Si(100) - ■■■■■■ 0.14 J/cm2 ■■ − 294 −