3）O.B. Kovalev, et al.: Modeling of flow separation of assist gas as applied to laser cutting of thick sheet metal, Applied Mathematical Modeling, 33, 9 (2009), 3730-3745. 参考文献 謝 辞 レーザ加工用集光レンズの長ストロークかつ高精度位置決めが可能な，５自由度制御型磁気浮上アクチュエータを提案して試作した． また，磁気浮上アクチュエータの制御系を検討してその位置決め性能評価を行った．試作したアクチュエータは，並進方向には1.0µmの位置決め分解能，4mmのストローク，50Hz以上のバンド幅，傾き方向には20µradの位置決め分解能，70mradのストローク，40Hz以上のバンド幅を実現した． さらに，レーザビームの光軸の偏心により，アシストガス，加工への影響を検討するため，流体解析によるシミュレーションと基礎加工実験を行った．レーザビームの偏心により，加工時に発生した溶融物の流れをコントロールでき，加工速度と加工精度を向上できることが明らかになった．今後は試作したアクチュエータをレーザ加工機に取り付け，加工実験を行う予定である． 本研究は，公益財団法人天田財団の平成29年度一般研究開発助成AF-2017206の支援を受けて実施した研究であり，ここに記して，心より深く感謝の意を表します． 1) F. Quintero, et al.: Optimization of an off-axis nozzle for assist gas injection in laser fusion cutting, Optics and Lasers in Engineering, 44, (2006) 1158-1171. 2) H.G. Salem, et al.: CW Nd: YAG laser cutting of ultra-low carbon steel thin sheets using O2 assist gas, Journal of Materials Processing Technology, 196, (2008), 64-72. 4) H.O. Ketting and F.O. Olsen: High pressure off-axis laser cutting of stainless steel and aluminum, Proceedings of International Conference on Laser Advanced Materials Processing (1992), 607-612. 5) 森本貴景，進士忠彦，中井孝洋，福岡輝章：レーザ偏心加工に用いる磁気・静圧ハイブリッドレンズ駆動アクチュエータ，日本機械学会論文集（C），78巻794号 （2012-10），239-252. (Science and Applications), 7-12 − 268 −
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