図3 PCD表面への均一な微小穴形成放電条件 0.5 mmって調べた．試験条件は，流動パラフィン（動粘度：3.3 mm2/s）を用いた湿式とし円筒形状（外径φ6 mm，内径φ3 mm）の純チタンを1000 rpmで回転させながら一定荷重（100 N）でPCD加工面に押し付け，得られたトルクと押し付け荷重から摩擦係数を求めた． 放電加工用電極として一般的に使用されるブロック電極を用いてPCDを加工した場合，PCD面を均一に加工することは，難しい．そこで，本実験では，PCD表面に微小穴を均一に形成するために薄板形状の電極を検討した．図3に厚さ0.3 mmの薄板状純銅電極，亜鉛合金電極を用いて加工したPCD表面を示す．黒く見える部分は放電によって形成された微小穴を示す．銅電極を用いた場合，加工面に形成される微小穴の分布は不均一であるのに対して，亜鉛電極では，ほぼ均一な加工面となっている．亜鉛合金を放電加工用電極として用いた場合，加工中のギャップが広く，安定な加工状態が維持されやすいことが報告4）されている．PCDの放電加工においても安定な加工状態が維持されたことが，微小穴が均一に形成できた原因だと考えられる． 次に，PCD表面に形成された微小穴が加工面全体に占める割合（面積率）について調べた．面３．実験結果 3.1放電加工条件 図4 放電加工によるPCD表面への微小穴形成 積率の算出は，レーザ顕微鏡で撮影した加工面の画像を2値化処理することで行った．図4に加工時間と微小穴の面積率の関係およびそれぞれのPCD加工面を示す．加工時間とともに面積率は上昇し0.04 min/mm2で面積率が35 %程度となる．その後，面積率の上昇は比較的緩やかになり，0.128 min/mm2で41 %程度となる．また，同じ加工時間でも，サーボ基準電圧を上げ，電極と工0.5 mm①純銅（－）②亜鉛合金（－）（加工時間：0.128 min/mm2） − 249 −
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