tneciffeoc noitaerroC3Number of irradiationtneciffeoc noitaerroC 4・2 密着耐久性評価 il12456789il10 1.00.80.60.40.2110 mJ120 mJ0.0−0.20.80.60.480 mJ90 mJ0.22040Number of irradiation5th irradiation109th irradiation608010012014010Fig.4 120 mJおよび90 mJ照射時の相関係数 Fig.5 相関係数低下前後の試験片の断面観察像 Fig.6 弾性波の伝播挙動の計算結果 つぎに繰返し負荷に対する密着耐久性評価について述べる．Fig.4 (b)にレーザーエネルギー80 mJおよび90 mJの波形の相関係数の推移を示す．90 mJでは109回目の照射時に相関係数が低下していることから，108回目の照射時に剥離が発生したと判定できる．同様な方法でレーザーエネルギーを変化させながら試験を行い， 50点の異なる箇所において剥離発生までの繰返し照射回数を記録し，さらには密着強度を算出した．得られた結果をFig.7に示す．この結果，界面応力が低下すると剥離の寿命が伸びることがわかった．すなわち，このような硬質膜と基材の異種材料界面の密着強度においても，バルクの均質材料の疲労強度と同様の傾向を示すことが明らかとなった．したがって，硬質膜を金型で繰返し使用する場合，その密着耐久性評価は重要であり，本開発技術は迅速に評価できると言える． (a) (b) (a) (b) − 185 −
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