図10 投射粒子量とエロージョン深さの関係 3・3 耐剥離性試験（微粒子エロ―ジョン試験（投射粒子:BA50）） 投射粒子量ごとのエロージョン痕のマイクロスコープ画像を図11に示す．熱劣化試験前の試験片は，投射痕中央でエロージョンが進行し，投射量5 gになると一部剥離したと考えられる黒色の点がいくつかみられた．この黒色の点について，レーザー顕微鏡で深さ測定したところ，1層目と2層目との界面付近までエロージョンが進行していることがわかった．一方，熱劣化試験後の試験片のエロージョン痕は，投射量1 g後に表層が剥離して，新たな面が露出した．このエロージョン痕(2 g投射時)をレーザー顕微鏡で深さ計測すると，剥離している面は，1層目と2層目との界面付近であることがわかった． 以上のことから，熱劣化試験前後ともに，剥離している界面は，1層目と2層目との界面付近であることがわかった．また，熱劣化試験後の試験片の方が，熱劣化試験前の試験片よりも少ない投射粒子量で1層目が剥離したことから，熱劣化試験によって，1層目と2層目との界面の密着性の低下，また，1層目自身の強さが低下したことが考えられる． 図11 エロージョン痕のマイクロスコープ画像 3・2 膜質評価試験（MSE試験（投射粒子:BA3）） 面形状曲線は，触針式二次元粗さ計を用いて計測した．なお，図9，10には，レーザー顕微鏡でカロテスト痕を計測し算出した，1層目と2層目の境界部分の深さを合わせて示す． 熱劣化試験前の試験片は，投射粒子量の増加に伴い，徐々にエロージョンが進行した．一方，熱劣化試験後の試験片は，投射粒子量0.5 gで1層目がなくなり，2層目部分でエロージョンの進行が抑制された．熱劣化試験前の試験片は10 g 投射後に2層目に到達したが，熱劣化試験後の試験片は0.5 g 投射後に2層目に到達した． このことから，熱劣化試験によって，1層目の膜自身が弱くなったか，1層目と2層目との界面の密着性が低下したことが考えられる．なお，今回の熱劣化試験条件では，熱劣化が著しかったため，熱劣化試験後の1層目内でのエロージョン進行を詳細にみることはできなかった． (a) 熱劣化試験前の試験片 (b) 熱劣化試験後の試験片 図9 投射粒子量ごとのエロージョン痕の断面曲線 投射粒子量ごとのエロージョン痕の断面曲線を図9に，投射粒子量とエロージョン深さの関係を図10に示す．断Interface between first layer and second layer Interface between first layer and second layer Mass of particles1 mmUnheated0 g1 g2 g5 gHeated− 155 −
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