l l 0 egatsesluPretemwolfyrruSyrruSnemicepSpmupmµ02mµ0３．実験結果および考察 図6 大粒子投射型微粒子エロージョン試験機の概要 3・1 熱劣化試験 本試験では，800 ℃に設定したホットプレートで試験片を接触加熱した．その時のホットプレートの表面温度をk型熱電対で計測すると，試験片接触前は，約600 ℃で安定しており，試験片を接触加熱する際は，約650～670 ℃まで上昇していた． 図7に，熱劣化試験前にカロテスト試験を実施した痕をレーザー顕微鏡で観察・計測した結果と，そのカロテスト痕を熱劣化試験後に観察・計測した結果を示す．熱劣化試験後のカロテスト痕のエッジ部（1層目の表層側）は，熱劣化試験前よりも高く盛り上がった． また，熱劣化試験後の試験片表面の別の箇所にカロテスト試験を実施し，その痕を観察・計測した．その結果を図8に示す．なお，比較のため，熱劣化試験前の別のカロテスト痕の1層目も載せてある．熱劣化試験前の 1層目の膜厚が6.5 µmに対し，熱劣化後の1層目の膜厚が，約17 µm になっていた．また，熱劣化試験後のカロテスト痕を詳細に見ると，厚膜化した1層目内で幾層にも分かれていることがわかった．この層は，接触加熱と空冷の100サイクルを25サイクルずつの4回に分けたことが履歴として残ったものと考えられる． 以上のことから，熱劣化試験によって，1層目が厚くなり，また，熱負荷の停止・開始の繰り返しは，幾層にも分かれた形で現れることがわかった． 図7 熱劣化試験前後のカロテスト痕の変化 (a) 熱劣化試験後に作製したカロテスト痕 (c) 熱劣化試験前に作製したカロテスト痕の拡大図 図8 熱劣化試験後の表面に作製したカロテスト痕および(b) (a)の赤枠の拡大図 熱劣化試験前のカロテスト痕 Air compressorPressure regulatorInjection distance(10 mm) Injection angleAirSlurry Nozzle unit(3 mm××3 mm)Specimen SlurryStir barMixerLaser images1 mmPot500 µmLaser images1 mm500 µm2100 µm100 µmUnheatedHeatedFirst layerUnheatedFirst layerHeated− 154 −
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