− 49 −レーザプロセッシングレーザプロセッシングキーワード連絡先メールアドレスキーワード連絡先メールアドレス［応用分野］函館工業高等専門学校 一般系 准教授［応用分野］大阪大学 工学研究科精密科学・応用物理学専攻 助教AF-2016219一般研究開発助成AF-2016220一般研究開発助成材料加工，レーザープロセッシング複合化金属ガラス，無容器浮遊法，高温過冷却液体，高融点合金mizuno@hakodate-ct.ac.jpレーザー微細加工，センサー，光デバイス光加工，銀ナノ構造，局在表面プラズモン共鳴yosikawa@ap.eng.osaka-u.ac.jp水野 章敏吉川 裕之レーザー加熱型無容器浮遊法による複合化金属ガラスの創製プラズモニック無電解めっきに基づく極微レーザプロセッシング本研究では無容器ガス浮遊法を用いた金属ガラス作製に着目した．ガラス化の困難な物質をガラス化させることに実績のあるレーザー加熱型無容器ガス浮遊法を用いることにより，金属ガラスマトリックス中に微結晶を分散させた新たな複合化金属ガラスを創製することを試みた．レーザー加熱型無容器ガス浮遊法を用いることにより，Zr50Cu40Al10金属ガラスマトリックス中にマイクロメートルオーダーのTaの微結晶を分散させた複合化金属ガラスを創製することに成功した．Taの含有量を増加することにより，微結晶として析出するデンドライトのサイズが増加することに対し，ガラスマトリックス中に占める体積分率は減少することを確認した．したがって，本手法を用いることが複合化金属ガラスの創製に有効であることを示した．我々は基板表面の可視光照射領域に銀ナノ構造を形成させるプラズモニック無電解めっき法を開発し，メカニズムの解明や応用研究を進めている．本研究ではプラズモニックめっきの反応条件と，分光特性，表面形状，電気特性の関係について調べ，新規レーザプロセッシングとしての技術特性・有用性を評価・検証した．レーザースキャンやレーザー干渉露光により，任意の微小領域に銀ナノ構造を作製、パターニングすることに成功した．酸化亜鉛薄膜表面へプラズモニックめっきを施すことにより導電性が得られることを示し，酸化亜鉛薄膜特有のナノ構造に起因すると考察した．さらに，レーザー干渉露光により作製したプラズモニックめっき微細周期構造を利用し，微量溶液中の過酸化水素を迅速・高感度に検出する応用研究にも取り組んだ．
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