実施した研究に基づいていることを付記するとともに，同財団に感謝いたします． Sealing, Journal of Applied Physics, Vol. 40, Issue 10, (1969) pp.3946 -3949. 2) M. Esashi: Encapsulated Micro Mechanical Sensors, Microsystem Technologies, Vol. 1, (1994) pp. 2-9. 3) B. Ziaie, J. A. Von Arx, M. R. Dokmeci, K. Najafi: A hermetic Glass-Silicon Micropackage with High-density On-chip Feedthroughs for Sensors and Actuators, Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 5, Issue 3, (1996) pp.166-179. 4) Y. Okamoto, I. Miyamoto, K. Cvecek, A. Okada, K. Takahashi, M. Schmidt: Evaluation of Molten Zone in Micro-welding of Glass by Picosecond Pulsed Laser, Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol. 8, No. 1, (2013) pp.65-69. 謝 辞 本研究は，公益財団法人天田財団からの研究助成により参考文献 1) G. Wallis, D. I. Pomerantz: Field Assisted Glass- Metal 5) I. H. W. Nordin, Y. Okamoto, A. Okada, T. Takekuni, T. Sakagawa: Effect of Focusing Condition on Molten Area Characteristics in Micro-welding of Borosilicate Glass by Picosecond Pulsed Laser, Applied Physics A, Materials Science & Processing, Vol. 122, No. 5, (2016) pp.492:1-11． 6) 坂倉政明，三 浦 清貴，超短パルスレーザーによるガラス内部の局所溶融技術，NEW GLASS, Vol. 32，No. 1 (2017), pp.24-28. 7) 伊藤康晴，長谷川智士，早崎芳夫，豊田晴義，空間光位相変調器を用いたホログラフィックレーザー加工，レーザー研究，Vol. 43, No. 4 (2015), pp.227-232. 8) Roberto Di Leonardo, Francesca Ianni, Giancarlo Ruocco, Computer generation of optimal holograms for optical trap arrays, OPTICS EXPRESS, Vol. 15, No. 4 (2007), pp.1913-1922. - 72 -
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