図5 揺動半径別のマスター形状 a)0.05mm,b)0.10mm,c)0.125mm,d)0.15mm,e)0.20mm 図6 揺動半径と直径，高さの関係 図7 マイクロニードルマスター型 れの揺動半径で加工した際の形状の一部を抜き出して測定したものである．測定には非接触3次元測定器であるNH-3SP（三鷹光器社製）を用いた．結果を比較すると，0.05mmおよび0.10mmの条件においては，先端に平坦部が残存する結果となり，先端に鋭利な形状が必要なマイ100μm 100μm 100μm 100μm 100μm クロニードルアレイのマスター型としては，不十分な結果となった．0.125mm，0.15mmでは先端が鋭利な形状となり，根元直径がそれぞれ232μm，204μm，高さが651μm，535μmのニードルが確認された．0.20mmではニードル部の高さが247μmとなっており，高さが不足する結果となった． 図6は横軸に揺動半径，縦軸にニードル根元直径および高さを示したグラフである．揺動半径の増加につれ，直径は減少する傾向にあることが確認でき，高さは0.125mmまでは減少量は小さいものの，それを超えると減少量が大きくなることを確認した．これらの結果から，揺動半径の条件は0.125mmとし，この条件にて得られた形状をマスター型として使用した．マスター型の顕微鏡写真を図7に示す． 3.2 ホットエンボス加工による樹脂鋳型の成形 表2は樹脂鋳型成形時のホットエンボスの条件である．エンボス時の温度条件はPEEKおよびPFAの荷重たわみ温度およびガラス転移点温度を考慮して，それらを約50℃上回る温度から段階的に定めた．離形時の温度に関しては，その温度を下回る温度で段階的に設定した．また，エンボス荷重に関してはエアシリンダの空圧を調整することによって制御した． - 44 -a) b) d) e) c)
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