表7実験条件（0.5 J/cm2，200 shots）図6レーザ未照射面およびレーザ照射面の様子図8レーザ照射面の様子（τ= 20 ps，λ= 266 nm，Q= 0.06 J/cm2）図9フェムト秒ファイバレーザによるLASの可能性検証図8に実験結果の代表としてQ=0.06J/cm2の条件によ図7レーザ照射面の様子（1.0 J/cm2）■・ ・ デバリングに及ぼすパルス幅の影響レーザデバリングにおけるパルス幅の影響を検討するために，τ= 20 psのレーザによるレーザデバリング実験を行った．また，前節で最も好適な条件であったτ= 3 ns，λ=355nmのレーザによる実験結果と比較を行い，バリ除去性に対するパルス幅の影響を検討した．レーザ発振器はEKSPLA社製のPL2250を用いた．本レーザ発振器のレーザ媒体は前節で用いたレーザ発振器と同じくNd:YAGであり，基本波（λ = 1064 nm），第2高調波（λ=532 nm），第3高調波（λ = 355 nm）に加えて第4高調波（λ = 266 nm）の発振が可能である．本節の実験条件を表7に示す．本節では上述のレーザ照射装置によるτ=20 psのレーザにより照射実験を行い，前節での実験結果と比較を行う．波長λは前節での結果を踏まえ，最も好適な条件であると予想されるNd: YAGレーザの第4高調波（λ= 266 nm）とした．また，前節での実験と同様に照射回数は1 ~ 200 shots とした．るレーザ照射面のSEM像を示す．同図（i）に示すように，N= 1 shotのレーザ照射面においてバリ部のみが溶融していることが確認できる．また，N= 5 , 10 shotsの条件においては，同図（ii），（iii）に示すように，レーザ照射面の中央部においてバリが完全に除去されていること波長λエネルギ密度Q照射回数Nパルス幅τ周波数f スポット径d(a) レーザ未照射面 (b) λ= 355 nm(c) λ= 532 nm (d) λ= 1064 nm(a) N= 5 shots (b) N= 200 shots(i) λ= 355 nm，Q= 1.0 J/cm2(a) N= 5 shots (b) N= 200 shots(ii) λ= 532 nm，Q= 1.0 J/cm2(a) N= 5 shots (b) N= 200 shots(iii) λ= 1064 nm，Q= 1.0 J/cm2(i) 1 shot (ii) 5 shots (iii) 10 shots(iv) 100 shots (v) 200 shots266 nm0.01 ~ 0.06 J/cm21 ~ 200 shots20 ps50 Hz2.5 mm- 84 -
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