5分1分研研磨磨液液 圧圧子子 フフォォルルダダ 研研磨磨 パパッットト １．研究の目的と背景２．実験方法*理化学研究所 大森素形材工学研究室 研究員表面改質に関する研究射面積を拡大した．使用済み酸化セリウムスラリーは，乾燥させパウダー状にした．表■に照射条件を示す．半導体レーザの波長はガラスの吸収波長の調査■■）により■■■■■とし，出力 ■■■Ｗ（定格３Ｗ）とした．図■に照射試験概略図と照射中の様子及び照射の軌跡を示す．照射時間は■～■■分とした．シリンドリカルレンズから照射サンプル波長電流値出力照射時間図１照射試験概略図と照射中の様子及び照射の軌跡T. Ono (Kato)キーワード：レーザ照射，酸化セリウム研磨剤，表面改質レーザは古くは分子レーザ法ウラン濃縮法にあるように，わずかな質量の差によって生じる光吸収波長の差を利用する放射性同位体の分離・濃縮手法として使用されてきた歴史がある■■．レアアースの高純度化に関連する研究では，真空中での光励起精製法によるネオジウムの高純度化の研究がある ■．また，レーザ光は，一般的に加工，溶接に使用されるほか，表面強化■■～■■，表面改質■■■■■などにも利用されるようになってきたが，酸化セリウム（■■■ ）研磨剤とレーザを組み合わせた研究はこれまで行われていない．ガラスレンズや■■ガラス基板などの仕上げ加工に一般的に使用される■■■ は茶褐色の主成分が■■■ で酸化ランタン，酸化プラセオジウム等が含まれた希土類（レアアース）酸化物である．■■■ は，ガラスの主要元素である二酸化ケイ素ff■■■₂■と化学反応性を有するため，精密研磨に用いられる化学機械研磨用の研磨剤として広く利用されている．■■■₂スラリーは循環して使用するために研磨されたガラス成分やパッドの成分が増加し研磨性能が低下してくる． ■■■年のレアアース供給障害が発生した以降，■■■₂砥粒の再生・リサイクル研究開発が積極的に行われるようになった．再生・リサイクルに関して主流は，酸，アルカリ等の薬剤を使用した化学的手法である■■■■）．本研究では，■■■₂表面に付着した■■などの不純物を除去するために，大気中において使用済みガラス用■■■₂研磨材に２種類の半導体レーザ照射を行い研磨剤の表面改質を試みる．具体的には，■■が反応し易い波長のレーザと表面を加熱させるためのレーザを乾燥させた使用済み酸化セリウム研磨剤に照射し，照射前後の■■，■■成分の質量濃度を分析した上で■レーザを照射した使用済み研磨剤の模擬的研磨試験を行い，その研磨特性を明らかにする．レーザを使用する利点は，薬剤を使用しないため二次的廃棄物が出ないこと，装置の簡略化が可能であることが挙げられる． ・■■■■■■レーザ垂直入射条件１本条件ではレーザ照射方法を研磨材に対し垂直照射とし，コリメートレンズ，シリンドリカルレンズを配置し照理化学研究所大森素形材工学研究室研究員小野（加藤）照子（平成 ■年度一般研究開発助成■■■ ■■■ ■■）表■照射条件ff■■照射簡略図ff■■照射の軌跡図２模擬的研磨試験の様子ff■■照射中の様子10分60分照射終了地点照射開始地点405nm380mA2.03W- 105 -大気中レーザ照射による酸化セリウム研磨材の大気中レーザ照射による酸化セリウム研磨材の表面改質に関する研究小野（加藤） 照子*キーワード：レーザ照射，酸化セリウム研磨剤，表面改質Review
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