合, 内田老鶴圃 (1990). ４．まとめ 謝 辞 参考文献 1) 佐久間 健人：セラミックス材料学, 海文堂 (1990). 2) 矢野経済研究所 編：パワー半導体の世界市場に関する3) H. Yamada: Journal of Plasma and Fusion Research, 90-2 (2014), 152. 4) 岩本 信也, 宗宮 重行 編: 金属とセラミックスの接5) 柴柳 敏哉：溶接学会誌, 79-7 (2010), 27. 6) Y. Nakao, K. Nishimoto and K. Saida: ISIJ International, 30-12 (1990), 1142. J. Watanabe, N. Ohtake and M. Yoshikawa: Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 58-5 (1992), 797. 8) H. Mizuhara and E. Huebel: Welding Journal, 65-10 (1986), 7) 43. J. F. Elliott, M. Gleiser: Thermochemistry for Steelmaking, Vol. I (1960), Addison-Wesley. 9) 10) 荒賀 靖：溶接技術, 63-2 (2015), 85. 11) 福島 明：溶接学会誌，76-1 (2007), 26. 12) C. E. Witherell and T. J. Ramos: Welding Journal, 59-10 (1980), 267.S. 13) J. Felba, K.P. Friedel, P. Krull, I. L. Pobol and H. Wohlfahrt: Vacuum, 62 (2001), 171. 14) K. Saida, W. Song and K. Nishimoto: Materials Science Forum, 539/543 (2007), 4053. 15) R. H. Biddulph: Proceedings of Symposium on Engineering Ceramics, (1985), 45. 16) Y. Sechi, T. Tsumura and K. Nakata: Materials & Design, 31 (2010), 2071. 17) Y. Sechi, K. Nagatsuka, K. Nakata: Journal of Physics Conference Series, 379 (2012), 012048. 18) N. Fukuchi and J. Suhara: Journal of the Society of Naval Architects of Japan, 1978 (1978), 296. 19) M. Komura, T. Yoshikawa and K. Matsumoto: The Bulletin of Institute of Technologists, 3 (2012), 31. 20) K. Kanda, K. Watanabe, Y. Yanagawa: JP Patent 5845189. 21) A. K. Chattopadhyay and H. E. Hintermann: Journal of Materials Science, 28 (1993), 5887. 22) A. J. Moorhead and H. Kim: Journal of Materials Science, 26 (1991), 4067. (2) Ar雰囲気中の残留酸素濃度が10 ppmまで低下すると，Ag–Cu–Tiろう材中の活性成分であるTiの酸化は確認されなかった．このときのArフロー条件は，予備排気なし・Ar流量5 L/minであった． (3) Arフロー条件を10 L/minまで増加させると，予備排気を行わない場合であっても，雰囲気中の残留酸素濃度が3.8 ppmまで低下した．この値は，従来得られていた予備排気あり・Ar流量 5 L/minの場合と同等の値である．このときの平均せん断強度 μ は8.0 MPaであり，破壊は接合界面近傍のh–BN側で発生した． (4) 不活性ガスであるArの流量を制御することで残留酸素濃度の低減が可能となり，活性成分であるTiの酸化が抑制された。真空排気工程を省略した条件であっても，Ag–Cu–Ti活性金属ろう材を用いたh–BNと超硬合金のレーザブレージングにおいて，十分な内容積145 mLの小型チャンバーを用いたセラミックスと金属の異材レーザブレージングにおいて，酸素濃度測定を実施した．波長分散型検出器を有するEPMAを用い，ろう材中に活性成分として含まれるTiの酸化に関し，Arガス流量や予備排気の有無についての影響を明確にした．詳細を以下に記す． (1) Ar雰囲気中の残留酸素濃度が33 ppmにおいて，Ag–Cu–Tiろう材中の活性成分であるTiの酸化が観察された．このときのArフロー条件は，予備排気なし・Ar流量1 L/minであった． 接合強度を得られることが明らかとなった． 本研究で用いたような内容積の小さなチャンバーであれば，活性材の酸化防止に必要となる不活性ガスの使用量も抑制可能となるため，上述の手法を用いることで，より経済的な接合が実現できる． 現在，汎用のレーザ加工機等を用い，より簡便な接合プロセスの構築を図り，レーザブレージング技術のさらなる高度化を実現すべく，研究開発を進めているところである． 本研究の一部は，大阪大学接合科学研究所「接合科学共同利用・共同研究拠点」制度に係る共同研究の一環として行われました．この場を借りて御礼申し上げます．また，公益財団法人天田財団からの一般研究開発助成により実施した研究に基づいていることを付記するとともに，同財団に深く感謝致します． 調査結果 2014, 矢野経済研究所(2014). the 1st European - 78 -
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