■yx■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■z x■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■z■■■■■■θ度■角■■■■■■■■■■■■■■■走査■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■実験結果■■照射実験の結果を図図６６に示す．図の上方からレーザを照射しており，レーザ照射面側に屈曲していることが確認された．屈曲部を詳細に観察した結果，図図７７ff■■に示すようにレーザ照射部はわずかに盛り上がっており，急加熱による照射部面の塑性変形が観察できた．一方，ガラス箔裏面の観察では同図ff■■に示すように，割れの生じることなく，滑らかな面性状を保っていることがわかった．■■■■■■■屈曲角度制御性の検証■■レーザによるガラス箔の屈曲が確認できたのでガラス箔の屈曲挙動の分解能について調査することにした．具体的には，レーザ照射時における屈曲角度θとレーザ照射時間の関係をレーザ出力ごとに調査した．主な条件は表表２２と同様に設定した．図図８８に屈曲角度θとレーザ照射時間の関係を示す．これにより，時間経過とともに次第に屈曲角度が大きくなり，■■°程度まで曲がることがわかった．また，屈曲角度の変化量は始めのうち大きく，■■°～■■°辺りでは小さく，■■～■■°辺りから再び大きくなるという傾向が見られた．■図６■ガラス箔の屈曲■ff■■レーザ照射面■図７■屈曲したガラス箔の■■■観察結果■５．ガラス箔の屈曲方向制御実験 ■■■■■屈曲方向制御加工■ff■■裏面■ガラス箔でも■■■によってレーザ照射方向に比較的精密よく屈曲させることができた■しかし，■■■では箔がレーザ照射側に屈曲してくるため，その屈曲した箔がレーザ光を遮断してしまって■■°を越えて曲げることができないという課題が残った．そこで，座屈機構（■■）によってレーザ照射とは反対方向に屈曲させれば課題は解決できる■しかし，■■では屈曲角度を精密よく制御することは困難と思われたため，ここでは■■■でありながらレーザ照射方向やその逆方向にもガラス箔を屈曲させ■■°以上の屈曲加工が可能となる手法を検討することにした．■本研究ではガラスを透過しやすい波長ff■■■■■■■をもつレーザ光を使用している■したがって，ガラス箔の表裏いずれかを凹に屈曲させたい場合，その面にレーザ吸収剤を塗布しておけば，その面で格段にレーザ光は吸収され屈曲するのではないかと考えた．そこで図図９９に示すように，レーザ吸収剤をレーザ照射面の裏面に塗布した試料に対して複数箇所でレーザを走査した加工実験を試みた■その結果を図図１１００に示す■塗布面側に屈曲することで，矩形の渦巻き状の成形が可能となった■■ ■■図９■吸収剤を裏面に塗ったガラス箔試料の加工■図１０■矩形の渦巻き状に成形されたガラス箔■図８■屈曲角度とレーザ照射時間の関係■レーザガラス箔■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■照射時間 s■■■■■出力 1.94W出力 1.51W系列3系列4系列5ガラス箔系列6■系列7系列8■■■50μm- 66 -
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