■４．ガラス箔の成形基礎実験 ■■■■■実験方法及び条件■■３．ガラスファイバのレーザ成形基礎実験 ■■■■■実験方法及び条件■9μm9μm7mm7mm■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■x■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■zyx z往復走査往復走査・λ＝1064nm・λ＝1064nm■ ■ ■ガラス箔のレーザフォーミングの可能性■■本研究で対象とする材料は，板厚■■μ■のガラス箔である．ガラスはステンレスに比べ熱伝導率が■■■■～■■ ■であるため，箔でもレーザ照射面とその裏面では温度差が生じやすく■■■によるフォーミングが可能ではないかと考えた．ここでは，まずガラスファイバ（直径■μ■）の成形加工を試み，微細なガラス素材でも■■■による成形が可能であるかを検証し，そのあとでガラス箔の成形加工を試みることにした．■■実験方法を図図２２に示す．図中，ガラスファイバ（直径■μ■）の先端から ■μ■の位置でファイバの長手方向と垂直方向にレーザ光を走査させて，ファイバを横断する時間だけレーザ照射した．実験に用いたレーザは■■■■■■レーザffλ■■■■■■■■である．また対物レンズには■■■■■■■■■■を用い，スポット径を約 ■μ■に集束させた．実験条件は表表１１に示す．■図２■ガラスファイバの加工実験■図３■ガラスファイバがレーザによって屈曲した様子■■■■ ■実験結果■■実験結果を図図３３に示す．これにより，レーザ照射面側に屈曲させる■■■が可能であった．屈曲の限界角度ψとレーザ出力の関係を図図４４に示す．これにより，ガラスファイバは出力が高いほど■■■によって屈曲角度が大きくなり，屈曲角度■°～■■°程度まで広範囲にかつ正確に設定することが可能であることもわかった．■■実験方法を図図５５，条件を表表２２に示す．ガラス箔は幅■■■■■，長さ■■■■，厚さ■■μ■のものを用い，スライドガラスに一端を固定し，レーザ照射面側にレーザ吸収剤を約■■■■塗布した．レーザ照射は一定出力でガラス箔先端から ■■離れた位置で箔の幅方向に繰り返し直線走査させた．走査周波数は■■■■■■であり，照射時間はとくに定めず角度の変化がなくなるまで続けた．実験で用いたものは前章同様に■■■■■■レーザffλ■■■■■■■■，対物レンズ■■■■■■■■■■，ビームスポット径■約 ■μ■とした．■ 表１実験条件■図４■屈曲角度とレーザ出力の関係■走査図５■ガラス箔の加工実験■表２■実験条件■ガラスファイバガラスファイバスライドガラススライドガラス出力出力走査速度走査速度ファイバ径ファイバ径ファイバの長さファイバの長さレーザYAGレーザYAGレーザ対物レンズ対物レンズ■■■■■■スライドガラス出力出力走査周波数走査周波数走査距離走査距離吸収剤膜厚吸収剤膜厚対物レンズYAGレーザ10mmガラス箔NA=0.46NA=0.460.37W～3.44W0.37W～3.44W39.6mm/s39.6mm/s1.51W，1.94W1.51W，1.94W1.38Hz1.38Hz1.5mm1.5mm49nm(照射面)49nm(照射面)1.5mm50μm2mmzzyyxx- 65 -50μm
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